单袋过滤器在半导体行业中有些哪些作用
单袋过滤器在半导体行业中的过滤是一种粗级过滤,通常不是单独使用的,会配合其他设备一起,单袋过滤器提供前端晶圆和芯片加工过滤、电子蚀刻酸浴过滤、光化学抛光、高纯水过滤及各种膜过滤工艺的预过滤。
电子冷却水的过滤、清除锌溶液中的锌沉积物、清除铜箔电解稳定槽中杂质。液压油过滤、贵重金属如铝、银、铅等金属过滤,清除泥污喷漆、涂料的滤清、金属加工液压油过滤、预处理系统过滤、贵金属回收、金属加工液及拉拔用润滑剂。
半导体行业生产的都是些高精密的芯片、电路板等设备,这些精密仪器都是需要超纯水进行清洗的,袋式过滤器与RO膜、EDI形成的层层过滤系统,最终过滤出工业用超纯水。
单袋过滤器还可用于半导体高温锅炉用水过滤,过滤过滤通常使用10μm不锈钢金属丝网滤袋。金属丝网耐高温,耐腐蚀,不易变形。
单袋过滤器在半导体行业中有哪些优势
1. 单袋过滤器结构简单稳定,安装方便,可以移动安装在工业产线上,根据工业需要随时调整安装工位。
2. 单袋过滤器过滤范围广,精度值在1-600μm之间,可以进行很多工艺环节的过滤。
3. 滤袋材质多样,滤袋生产是根据严格的生产技术制造,利用压力和高温贴合于不同的针刺毡表面。在与热塑性纤维毡贴合时,用特殊表面处理技术将其针刺毡的表面先做处理,然薄膜覆合,以达到最强的贴合效果。
4. 袋式过滤器产水量大,持续工作时间长,在水质稳定的情况下,极少发生突发事故。
单袋过滤器目前能做到的过滤精度在1μm以上,在半导体行业中,通常都是和其他过滤设备,如保安过滤器、RO反渗透膜组、EDI除盐设备配合使用的。随着新型能源的不断发展,袋式过滤器的过滤精度也在逐步提高,未来在半导体行业的作用也将更大。
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